上海晶盟12英寸重摻外延正式投片
2020年04月27日 9:36 9834次瀏覽 來源： 中國有色網(wǎng) 分類： 其他稀有金屬 作者： 史愛萍
4月7日，上海晶盟硅材料有限公司舉行了“300mm特色外延工藝研發(fā)及產業(yè)化項目”啟動儀式，300mm（12英寸）重摻外延正式投片。
據(jù)介紹，該項目建設投資共1.3億元，設計年產能為12萬片，根據(jù)市場需求，可以適時擴產、增加產能。產品一般應用領域為90nm~120nm節(jié)點功率器件，包括分立器件如二極管、三極管、IGBT等；45nm~90nm節(jié)點集成電路，包括電源管理芯片及CMOS圖像傳感器等。
上海晶盟硅材料有限公司是上海合晶硅材料股份有限公司（以下簡稱“上海合晶”）的全資子公司。上海合晶是中國大陸第一大8英寸硅外延一體化生產廠商，是中國大陸稀缺的具備從長晶、拋光至外延一體化完成生產設施及技術的硅外延片國際領先廠商。目前，上海合晶正在進行輔導備案，擬申請在科創(chuàng)板上市。
據(jù)悉，目前國內300mm重摻拋光片工藝、外延片工藝均未成熟，都處于開發(fā)階段，該項目將基于合晶集團在150mm及200mm的技術積累和市場優(yōu)勢，開辟一條具有合晶特色工藝；為特色器件工藝如IGBT、Super junction等的客戶供貨。而項目的研制及產業(yè)化也將填補國內300mm功率器件用外延的空白。
責任編輯：周大偉
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